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- 净化洁净棚
有各种独立的洁净区,唯区别在于其传送方式非以连接臂进行而是以人员在密闭的洁净室外进行操作,有独立的空调和回风系统,此型式优点在于弹性隔间容易、建造成本低,使人与设备、产品有效隔离,如此做法可使人为的干扰及污染降至最低程度,并直接可提升产品良率。
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